在數(shù)控銑床的精度從微米級到納米級的展開進(jìn)程中,有三項要害技術(shù)無法躲避,這三項技術(shù)也是納米精度銑床的研討門檻。此中一項技術(shù)是無遲滯的軸承技術(shù),滯后于機械系統(tǒng)比比皆是,遲滯現(xiàn)象不只嚴(yán)重影響銑床溜板的運動定位精度和重復(fù)定位的精度,也影響到運動來完結(jié)高分辯率,也影響精細(xì)零件的加工形狀和表面粗拙度的準(zhǔn)確性。靜壓軸承技術(shù),可以處理機械滯后現(xiàn)象,并可以均勻幾何過失,已被廣泛應(yīng)用于超緊密銑床。HIP技術(shù)在曩昔十年中取得了發(fā)展顯著,由于補償反應(yīng)技術(shù)愈加老到。以流量控制的節(jié)約技術(shù)使靜壓軸承的剛度得到很大程度的提高,超緊密銑床,使材料的硬度不竭前進(jìn)。
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